超純水處理PLC控制系統設計

論文類型	技術與工程	發表日期	2008-02-01
來源	電工技術
作者	何銀平,唐建國,傅成華
關鍵詞	超純水處理人機界面 PLC
摘要	介紹了基于西門子S7-400系列PLC控制系統在某8英寸晶圓廠超純水處理系統中的應用,并對其自動控制系統的控制結構和設計、電氣設備、在線儀表和系統程序進行了初步闡述.

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