VLSI超純水站設計

論文類型	技術與工程	發表日期	2001-03-01
來源	《中國給水排水》2001年第3期
作者	劉建偉,莫德舉,寇玉香
關鍵詞	超純水站設計工藝設備選型
摘要	劉建偉1，莫德舉1，寇玉香2 (1.北京化工大學信息科學與技術學院，北京100029；2.新疆維吾爾自治區農科院，新疆烏魯木齊830000) 　　摘　要：介紹了清華大學微電子所VLSI超純水站工藝設計思想及設備選型，并闡明了對關鍵設備選型及材質的技術要求。　　關鍵詞：超純水站；設計；工藝；設 ...

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